Как глиноземная керамика, так и карбидокремниевая керамика обладают физическими свойствами компактности, высокой твердости и высокой износостойкости, а также хорошей термостойкостью, отличной механической прочностью, хорошей изоляцией и хорошей коррозионной стойкостью в условиях высоких температур и т. д. Физические свойства: является отличным материалом для изготовления роботизированных манипуляторов полупроводникового оборудования.С точки зрения свойств материала керамика из карбида кремния больше подходит для изготовления керамических манипуляторов, но с точки зрения экономических аспектов, таких как цена материала и сложность обработки, керамические манипуляторы из оксида алюминия более рентабельны.
Время публикации: 13 февраля 2024 г.